Tef‘île, tef‘îl masdarına “birlik” anlamını ifade etmesi için teklik “tâ”sının veya masdardan bir birimin adı olmak üzere isim elde etmek için nakil “tâ”sının eklenmesiyle oluşmuştur. Nâkıs, mehmûzü’l-lâm, bazan da sâlim fiillerin tef‘îl masdarı olan “tef‘ile” (التَّفْعِلَةُ) ile karıştırılmaması gerekir; buradaki tâ ortadan düşen “yâ”nın yerine gelmiştir; “terbiye, teczie, tecribe” gibi. Yunan ve Latin şiirinde ölçü birimi bir uzun heceyi iki kısa hecenin izlediği “daktil” (parmak) tef‘ilesidir. Halîl b. Ahmed, Arap şiirinde mevcut aruz vezinlerini (bahirler) tesbit ederken bir gramerci olmasının da etkisiyle kelime vezinlerini tesbitte kullanılan “fʿl” (فعل) kökünden türetilmiş yapay kalıpları aruz bahirlerinin birimleri için ölçek olarak kullanmış, bu kelimeleri meydana getiren harflerin ”لمعت سيوفنا“ (kılıçlarımız parladı) klişesinde toplandığını belirtmiştir. Tef‘île tekil “tâ”sı ile bir tek birime tekabül ettiği gibi “tef‘îl” de cins ifadesiyle çoğul bildirdiğinden tef‘ilenin cins ve türlerine tekabül etmesi gerekir. Uygulamada daha çok tef‘île kelimesi kullanılmakla birlikte onun yerine tef‘îl de kullanılmaktadır. Yine “tef‘île” anlamında, her tef‘île aruz bahirlerini tesbitte birer ölçek sayıldığından “vezin” yahut “mîzân”, her tef‘île bahirlerin parçası olduğu için “cüz’”, tef‘îleler bahirlerin yapı taşları sayıldığından “rükn”, tef‘îleler bahirlere uygulanan birer örnek teşkil ettiği için “misâl” gibi terimler de kullanılmıştır. Bu ölçek birimlere “aruz tefâîli” denildiği gibi “arûz efâîli” de denir. Efâîl mübalağa bildiren “üf‘ûle”nin çoğulu olduğundan üf‘ûle tef‘îlenin eş anlamlısı olarak kullanılmıştır.
Tef‘ileler aruz vezinlerinin beytini teşkil eden müzikal lafzî yapılardır. Bir grup tef‘ilenin özel biçimde dizilmesinden ve tekrarından aruz vezinleri meydana gelir. Hece ölçüsünde esas olan bir şiirin mısralarındaki hece sayısının eşitliğidir. Aruz ölçüsünde ise hecelerin uzunluk ve kısalık bakımından ses değerlerinin eşitliği önemlidir. Bununla birlikte hece sayısının da eşitliği gereklidir. Söz konusu heceler birleşerek kalıplardan daha küçük birlikleri (tef‘ileler) teşkil eder. Tef‘ileler de “sebeb” (ip), “veted” (vetid “kazık”) ve “fâsıla” (çadır bezi) adı verilen daha küçük ses birimlerinden meydana gelir. Şi‘rin oluşturduğu beyit (şiir evi) şa‘r beytine (kıl çadır) benzetildiğinden aruz ve kafiye ilminde birçok terim çadırla ilgili kelimelerden alınmıştır. Sebebler iki harften, vetidler üç harften, fâsılalar dört ve beş harften teşekkül eden alt birimlerdir. Bunlardan her birinin iki kısma ayrılmasından altı farklı şekil ortaya çıkar. İki harfin birincisi harekeli, ikincisi sâkinse hafif sebeb, ikisi de harekeliyse sakīl sebeb adı verilmiş, üç harfin ilk ikisi harekeli, sonuncusu sâkinse mecmû‘ vetid, birincisi ve üçüncüsü harekeli, ortadaki sâkinse mefrûk vetid denilmiş, ilk üç harf harekeli, dördüncüsü sâkinse küçük fâsıla, ilk dört harf harekeli, beşincisi sâkinse büyük fâsıla diye anılmıştır. Söz konusu altı ses grubunu Halîl b. Ahmed’in şu klişe cümlede topladığı kaydedilir: ”لَمْ أَرَ عَلَى ظَهْرِ جَبَلٍ سَمَكَةً“ (Dağın üzerinde hiçbir balık görmedim).
Halîl b. Ahmed, öncelikle aruz kalıplarının teşekkülünde esas olan ve belli sayıda tekrar edilmesiyle aruz vezinlerini meydana getiren dört asıl tef‘ile tesbit etmiş, daha sonra bunları sebeb, vetid ve fâsıla bölümlerinin ters çevrilmesiyle meydana gelen altı fer‘î tef‘ile şeklinde yapay kalıp olarak toplam on tef‘ile icat etmiştir. İkisi beş harfli (humâsî), sekizi yedi harfli (sübâî) olan bu tef‘ileler şöyledir:
Zemahşerî şiir binasının esasını sebeb ve vetidlerin teşkil ettiğini, bir sakīl sebeble bir hafif sebebden fâsıla suğrânın, bir sakīl sebeble bir mecmû‘ vetidden fâsıla kübrânın meydana geldiğini, bunların birleşiminden ikisi beş harfli, altısı yedi harfli olmak üzere sekiz temel tef‘ilenin teşekkül ettiğini, bunların belirli miktarda tekrarlarından da aruz kalıplarının (bahir/vezin) meydana geldiğini ifade etmiştir. Bu sekiz temel tef‘ileden harf düşürme, harf ekleme ve harekeliyi sâkin kılma şeklinde görülen illet ve zihaf kaidelerinin uygulanmasıyla “feûlün”den altı, “fâilün”den iki, “müstef‘ilün”den on bir, “mefâîlün”den yedi, “fâilâtün”den on bir, “müfâaletün”den sekiz, “mütefâilün”den on beş, “mef‘ûlâtü”den on bir fer‘î tef‘ile üretilmiştir (el-Ḳusṭâs, s. 25-46; Zeyn Kâmil el-Huveysikî, s. 24-71).
Aruz vezinleri, bu temel tef‘ilelerden aynı tef‘ile veya iki farklı tef‘ilenin belirlenmiş miktarda tekrarıyla oluşturulmuştur. Sekiz defa tekrarıyla “feûlün”den mütekārib, “fâilün”den mütedârek, altı defa tekrarıyla “müstef‘ilün”den recez, “mefâîlün”den hezec, “fâilâtün”den remel, “mütefâilün”den kâmil, “müfâaletün”den vâfir bahirleri ortaya çıkmıştır. İkişer defa tekrarıyla “müstef‘ilün + mef‘ûlâtü”den serî‘ bahri, “müstef‘ilün + mef‘ûlâtü + müstef‘ilün”den münserih, “mef‘ûlâtü + müstef‘ilün + müstef‘ilün”den muktedab; üçer defa tekrarıyla “fâilâtün + müstef‘ilün + fâilâtün”den hafif, “müstef‘ilün” + iki “fâilâtün”den müctes, “müstef‘ilün + fâilâtün + müstef‘ilün”den muzâri; dörder defa tekrarıyla “feûlün + mefâîlün”den tavîl, “fâilâtün + fâilün”den medîd, “müstef‘ilün + fâilün”den basît bahirleri oluşturulmuştur (Zemahşerî, s. 47-51). Bu tef‘ile sayıları bahirlerin düzenli (sâlim) şekilleri içindir. Bahirlerin her mısrada bir tef‘ilesi eksiltilmiş “meczû”, tef‘ile sayısının yarısı eksiltilmiş “meştûr”, tef‘ile sayısının yarıdan fazlası eksiltilmiş “menhûk” adı verilen düzensiz biçimleri de vardır. Beytin, telaffuz edilen lafızlarının ait olduğu aruz kalıbını meydana getiren tef‘ile birimlerine uyarlanıp bölünme işlemine “taktî‘” denilmiştir (tef‘ilelerin uğradığı değişiklikler için bk. ZİHAF).